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【无锡冠亚】晶圆冷却腔体测温装置 单晶硅冷却循环装置，冠亚制冷的半导体控温chiller主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，半导体控温chiller循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵，经过24小时连续运行拷机。

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