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光刻机温度控制装置安装注意事项

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机温度控制装置安装注意事项

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-01-13
  • 访  问  量:3134
详情介绍
品牌LNEYA/无锡冠亚冷却方式风冷式
价格区间5万-10万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,电子/电池,航空航天,制药/生物制药,汽车及零部件

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压?;て?、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相?;て?、冷冻机过载?;?;高压压力开关,过载继电器、热?;ぷ爸玫榷嘀职踩U瞎δ?。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机温度控制装置安装注意事项

光刻机温度控制装置安装注意事项

  市场上关于光刻机温度控制装置的类型有多种,不同类型的光刻机温度控制装置其使用方法、作用、结构等都存在一定的差异,所以企业在选择时根据企业的状况选择适合自己的产品。

  一、光刻机温度控制装置的安装方法:

 ?。?/font>1)光刻机温度控制装置运行时要产生热量,应确保冷却空气的流通,安装时周围应留有一定的空间,产生的热量向上散发,所以不要安装在不耐热设备的周围。

  (2)光刻机温度控制装置应直接安装在水平面,请勿倒装、斜装或垂直安装。

 ?。?/font>3)光刻机温度控制装置不能安装在有各种纤维、纸片(屑)、金属碎块等场所。

  (4)光刻机温度控制装置的出水口应与您的仪器的进水口相连接,仪器的出水口应与本冷却循环水机的进水口相连接。

  二、光刻机温度控制装置的注意事项:

  (1)电源一定要连接于主电源端子。如果错将电源连接于其它端子,将损坏冷却循环水机。另外应确认电源电压是否在允许电压范围内。

 ?。?/font>2)接地端子良好接地,防止电击或火灾事故。

  (3)如是分体机,室内机与室外机的氟路连接由冻水机、光刻机温度控制装置厂家的技术人员负责安装或调试。

  (4)光刻机温度控制装置,应见各接线端子,接线时千万不要接错线。

 ?。?/font>5)各端子和连接线之间是否有短路或对地短路。

 ?。?/font>6)如使用温度较低请在循环液里加上防冻液。

 ?。?/font>7)一定要用压接端子连接端子和导线,保证连接的可靠性。

  (8)完成电路连接后,请检查连接是否都正确无误。

9)有无漏接线。

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