光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

　　为确保光刻机用冷水机组的靠谱及正常运行，防止不适当的水配管路施工造成的冷水机故障，安装本机组时应注意下列事项：

　　光刻机用冷水机组的电源注意事项

　　1、光刻机用冷水机组电源采用三相四线、电源线接电源火线，接零线，（G）接地线。

　　2、光刻机用冷水机组用主电源线线电控箱上的穿孔连接在箱内接柱上，保证连接紧固。

　　3、机组配电要求：主电源电压：额定电压范围以内。

　　4、主电源电压波动超过规定范围时，不准起动冷水机、否则视作操作不当，由此引起的损坏不在本公司保养范围之内。

　　5、水系统之水流开关、水泵、冷却水塔电机等联锁电路必要时可正确连接在机组控制电路中。

　　6、光刻机用冷水机组设有电流过载保护、压缩机排气端之高低压保护，马达线圈过热保护、防冰保护，冷却水之水流连锁保护等多种措施，切勿擅自改动、如需改动请与厂家联络。

　　光刻机用冷水机组的安装注意事项

　　1、吊运安装光刻机用冷水机组时注意不要损坏机组，合理布局光刻机用冷水机组周围空间，以方便维修保养光刻机用冷水机组。

　　2、按照对配管系统设计及施工安装的要求，合理设计和安装冻水及冷却水系统，以充分发挥光刻机用冷水机组性能。

　　3、机组应水平放置，及安装在通风位置。

　　4、根据机组制冷能力选用匹配的冷却塔。

　　5、机组配管请参照本公司建议之配管方法安装施工。

　　6、水源及散热水塔周围环境恶劣时，冷冻水和冷却水回路须安装Y型过滤器及定时清理，封闭冷冻水系统较高处须安装自动排气阀、系统较低处安装排水接头，以系统排水用。

7、冷冻水管路系统通过试漏后，包保温层，避免冷量散失及管路滴水。