半导体Chiller支持工艺过程制程发展

半导体Chiller支持工艺过程制程发展

日常维护是确保系统稳定运行的基础。需要每日检查各分区温度设定值与实际值的偏差，记录系统运行参数。关注压缩机、水泵等关键设备的运行状态，及时发现异常运行声音或振动。

月度、季度维护应检查水处理系统，包括水质检测、过滤器清洗、电气系统绝缘测试、传感器校准、管路密封性检查等。检查各分区调节阀的动作情况，确保响应灵敏度和控制精度。清理冷凝器翅片，检查冷媒压力，确保换热效率。

三、常见故障排查方法

温度控制偏差是常见的故障现象。首先检查温度传感器的校准情况，然后排查调节阀的动作是否正常。如果单个分区出现偏差，检查该分区的传感器和调节阀；如果多个分区同时出现偏差，则需要检查主机的运行状态。

系统压力异常是另一个常见故障。高压警告通常由冷凝器散热不佳引起，需要检查冷凝器风扇和翅片清洁度。低压警告则可能是冷媒泄漏或蒸发器堵塞所致，需要进行检查。

压缩机故障往往表现为异常运行声音或无法启动。首先检查电源和启动器，然后检测压缩机绕组绝缘和运行电流。如果压缩机频繁启停，可能是系统负荷不平衡或冷媒量不当所致。

存储单元分区温控Chiller系统的维护和故障排查需要知识和技能。通过建立完善的维护体系，采用科学的排查方法，可以提高系统的可靠和稳定。