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半导体制作过程制冷机 温控机Chiller

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专?温控设备、射流式?低温冲击测试机和半导体??艺废?处理装置等?设备,?泛应?于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。半导体制作过程制冷机 温控机Chiller

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-01-16
  • 访  问  量:1534
详情介绍
品牌冠亚制冷冷却方式水冷式
价格区间10万-50万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,生物产业,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件



无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专?温控设备、射流式?低温冲击测试机和半导体??艺废?处理装置等?设备,

?泛应?于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 冠亚制冷 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式?低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

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半导体?低温测试设备

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射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





半导体制作过程制冷机 温控机Chiller

半导体制作过程制冷机 温控机Chiller


  半导体循环制冷机的维护保养不仅影响设备的性能和寿命,还可能对生产过程产生重大影响。以下是一些关于半导体循环制冷机维护保养的注意事项:

  1、定期检查:定期对半导体循环制冷机进行检查,包括冷却水的流量、温度、压力等参数,以及冷却器的清洁度和磨损情况。如果发现异常,应及时进行处理。

  2、清洁保养:定期清洁半导体循环制冷机的内部和外部,以防止灰尘、污垢和其他杂质的积累。同时,要检查冷却器的密封件和连接件是否完好,如有损坏应及时更换。

  3、更换耗材:半导体循环制冷机需要定期更换耗材,如冷却水、过滤器等。要按照厂家周期进行更换,以保证设备的正常运行。

  4、监控运行参数:密切关注半导体循环制冷机的运行参数,如温度、压力、流量等,确保它们在正常范围内。如果发现参数异常,应及时调整或停机检查。

  5、防止泄漏:如果冷却水泄漏,不仅会影响设备的性能,还可能对环境造成污染。因此,要定期检查冷却器的密封件和连接件是否完好,并确保设备在运行过程中不会发生泄漏。

  6、电源和电路保护:确保半导体循环制冷机的电源和电路保护正常工作,以防止电压波动或电流过大对设备造成损坏。



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