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Chillers半导体控温装置 模块循环制冷机

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专?温控设备、射流式?低温冲击测试机和半导体??艺废?处理装置等?设备,?泛应?于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。Chillers半导体控温装置 模块循环制冷机

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-01-16
  • 访  问  量:2323
详情介绍
品牌冠亚制冷冷却方式水冷式
价格区间10万-50万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,生物产业,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件



无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专?温控设备、射流式?低温冲击测试机和半导体??艺废?处理装置等?设备,

?泛应?于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 冠亚制冷 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式?低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

Chiller直冷型

循环风控温装置

半导体?低温测试设备

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射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





Chillers半导体控温装置 模块循环制冷机

Chillers半导体控温装置 模块循环制冷机


  集成电路晶圆制造Chiller在半导体制造工艺中作为一种制冷加热动态控温设备,可以用在不同的工艺中,以下是在半导体制造工艺中的应用:

  1、氧化工艺:在氧化工艺中,需要将硅片放入氧化炉中,并在高温下进行氧化反应。集成电路晶圆制造Chiller可以控制氧化炉的温度和气氛,以确保氧化反应的稳定性和均匀性。

  2、退火工艺:在退火工艺中,需要将硅片加热到一定温度,并保持一段时间,以消除晶格中的应力并改善材料的性能。集成电路晶圆制造Chiller可以控制退火炉的温度和时间,以确保退火过程的稳定性和可靠性。

  3、刻蚀工艺:在刻蚀工艺中,需要将硅片暴露在化学试剂中,以去除不需要的材料。集成电路晶圆制造Chiller可以控制化学试剂的温度和流量,以确保刻蚀过程的稳定性和精度。

  4、薄膜沉积工艺:在薄膜沉积工艺中,需要将材料沉积在硅片上,以形成所需的薄膜结构。集成电路晶圆制造Chiller可以控制沉积设备的温度和气氛,以确保薄膜沉积的稳定性和质量。

  5、离子注入工艺:在离子注入工艺中,需要将离子注入到硅片中,以改变材料的性质和结构。集成电路晶圆制造Chiller可以控制离子注入设备的温度和电流,以确保离子注入的稳定性和精度。


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