光刻机冷却机组保养维护须知

光刻机冷却机组保养维护须知

　　如今光刻机冷却机组的使用越来越广泛，在使用过程中，如何对光刻机冷却机组进行保养和维护，关系着设备的使用寿命以及是否能够提高生产力的关键所在。

　　对于企业来说，设备保养负责人应该制定每月的定期检查和保养计划。其内容如下：检查设备各个线路连接是否正常，以及电源线是否老化，检查电源是否缺相。并且要做好检查结果，对于有问题的应及时上报，并且计划完善对光刻机冷却机组线路的检查处理工作。另外在电气方面，还应该观察和记录设备运转时的电流。

　　除了定期观察和记录运转电流之外，还应该对系统的压力和温度控制进行观察和记录。做好数据记录和统计工作，能够通过数据对比有效的发现问题，从而解决问题。

另外在对光刻机冷却机组的电气检查之外，还应该检查油位，冷媒系统，循环水水质等。其中较为常见的故障往往出现在循环水的问题，当循环水的水质多时，往往会造成堵塞，此时除了要清理系统内水质杂志之外，还应该更换循环水。检查冷媒系统时，应该着重检测冷媒系统的量是否充足。

　　企业对于操作光刻机冷却机组的人员应该进行培训工作，应该让员工在通读光刻机冷却机组说明书的前提下让其上岗。并且在学习中，应着重对其进行光刻机冷却机组的保养和维护工作的培训和讲解。

　　如有必要，可以向厂商申请专门的售后服务人员，来对员工进行培训教育。做好对光刻机冷却机组做保养和维护其实基本的是要培养员工的保养和维护的意识，意识有了，然后就是增加员工的执行力。做保养维护工作，重要的是持之以恒，将设备的故障率降低，就等于创造了效益和价值。