光刻机水冷机组定时保养知识须知

光刻机水冷机组定时保养知识须知

　　掌握调整蚀刻机冷却循环装置运行功率的方法，企业运行满足需求的前提下，控制蚀刻机冷却循环装置的运行功率。控制蚀刻机冷却循环装置处于低效率运行状态，能够减少设备消耗的数量。

　　一、用电环境要好

　　想要降低蚀刻机冷却循环装置电量，需要为蚀刻机冷却循环装置提供优良的用电环境。例如用电环境的电压比较低，蚀刻机冷却循环装置设备为保持稳定的运行效率，必然加大电能的消耗。

　　二、设备的运作要提前计划好

　　加入要维护蚀刻机冷却循环装置的和系统的稳定，那么要以前做好设备的运作计划，不论什么设备都要有提前的计划，如果没有会使机器满负荷运载，这就会影响到蚀刻机冷却循环装置运行的。

　　三、要定期的保养

　　对蚀刻机冷却循环装置进行定期的维护可以保证蚀刻机冷却循环装置的寿命的烟瘴，不论是什么设备只要维护好了，那么设备的效能也会相应的会减少的慢。

　　四、四周环境的影响

　　现在的环境对机器的影响还是比较大的，好的环境会提供机器的效能，相反则会降低机器的效能，所以好的环境对机器是有一定的影响的。

　　五、冷凝器的温度

　　冷凝温度的降低会是冷却效果更好，因为在开始使用的时候，冷却塔时会有一定的裕量，所以需要加大原有的冷却塔水，让冷却水的效能更好。

　　六、配置可调节线圈

蚀刻机冷却循环装置在运行的时候，如果运行时间较长，能源消耗非常多。可以为蚀刻机冷却循环装置安装调节线圈，根据环境温度调整适合的运行功率。