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光刻机温度控制装置选择要从哪些方面进行

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机温度控制装置选择要从哪些方面进行

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-01-13
  • 访  问  量:1618
详情介绍
品牌LNEYA/无锡冠亚冷却方式风冷式
价格区间5万-10万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,电子/电池,航空航天,制药/生物制药,汽车及零部件

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机温度控制装置选择要从哪些方面进行

光刻机温度控制装置选择要从哪些方面进行

  当前,光刻机温度控制装置行业正在加速发展,越来越多的光刻机温度控制装置不同型号和类型的集团正在涌现,如果选择的设备不能*企业在性能和质量上的特定使用环境要求就会很麻烦,所以,光刻机温度控制装置的选择要慎重。

  光刻机温度控制装置选择时应注意以下三点:

  1.光刻机温度控制装置关键部件的选择,压缩机是影响光刻机温度控制装置性能的主要指标。在生产过程中,许多光刻机温度控制装置家制造商为了控制总体生产成本,在压缩机等主要零件中采用了质量较差的产品,甚至使用翻新的压缩机,这严重影响了后期的使用效率。工业时期光刻机温度控制装置,导致能耗增加。

  2.在确保光刻机温度控制装置主要功能的前提下,控制采购成本,并以较高的性价比来购买光刻机温度控制装置适合您所在行业的产品,以降低成本,满足生产要求资金少的企业需求。

3.根据企业的使用环境购买无锡光刻机温度控制装置。水质和空气质量对组光刻机温度控制装置的运行有一定影响。须提前将其所在企业的水质和空气质量告知制造商。

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