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液晶面板制造用高精度面板冷水机从温控原理到工艺优化的技术解决方案

 更新时间:2025-06-24 点击量:213

    在液晶面板制造工艺中,温度控制的准确性与稳定性直接影响产品光学性能和良率。面板冷水机作为配套温控设备。

    一、面板冷水机的技术架构与温控原理

    面板冷水机作技术架构围绕高精度温度控制需求设计。设备采用全密闭循环系统,通过磁力驱动泵实现导热介质的循环流动,配合微通道或板式换热器完成热量交换。设备的温控核心在于多算法协同控制。PLC可编程控制器结合PID、前馈PID及无模型自建树算法,实时调节电子膨胀阀开度与压缩机频率,实现系统快速响应。系统还具备温度曲线记录功能,通过7英寸触摸屏导出数据,便于工艺追溯与优化。全密闭设计避免了低温环境下空气水分渗入及导热介质挥发,保障控温稳定性。

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    二、核心技术参数与面板工艺适配性

    1、温度控制范围与精度

    面板冷水机的温度范围覆盖广泛,以满足液晶面板制造多环节工艺需求。这种宽温域控制能力,适配于偏光片贴附、玻璃基板加热、液晶灌注等多环节工艺。

    2、制冷与加热协同技术

    设备通过压缩机热废气利用实现加热功能,制冷系统采用双膨胀阀设计,加热时高温高压制冷剂气体经旁通回路流入蒸发器,实现快速升温,满足面板工艺中快速温变需求。

    三、液晶面板制造中的温控应用场景

    1、偏光片贴附工艺的温度控制

    在偏光片贴附环节,需通过面板冷水机维持加热板温度均匀性。设备采用快速温变控温,满足不同偏光片的贴附温度需求。卡盘表面电镀镍或黄金处理,防止介质腐蚀,确保长期使用精度,避免因温度不均导致的偏光片气泡或贴附偏移。

    2、玻璃基板刻蚀的腔体温度稳定

    液晶面板制造中的玻璃基板刻蚀过程中,腔体温度波动会影响刻蚀速率与均匀性。面板冷水机通过液冷分配单元为腔体冷板提供恒温冷却液,全密闭系统设计避免导热介质挥发,防止污染腔体内部环境,保障刻蚀工艺的一致性和良率。

    3、液晶灌注工艺的光学系统温控保护

    液晶灌注过程中,光学检测设备的镜头等元件对温度要求较高,需通过低温制冷维持性能。通过换热器对光学元件间接冷却。同时,系统具备防凝露控制,避免低温环境下光学表面结露影响检测精度,确保液晶灌注量的准确性和面板光学性能的一致性。

    四、设备可靠性设计与验证

    设备集成多重保护功能:相序断相保护、压缩机过载保护、高压压力开关等。同时,膨胀罐稳压设计降低漏液风险,管路材质选用不锈钢与陶瓷等耐腐蚀材料,避免因设备故障导致的产线停机损失。设备采用模块化设计,,只需一台备用机组即可完成维护。接口标配快接装置,流道双向截止,现场可直接插拔维护,减少停机时间。

    面板冷水机通过成熟的温控技术与可靠性设计,为液晶面板制造工艺提供稳定的温度环境,其技术参数与工艺适配性直接影响面板的光学性能和生产良率,同时通过规范化维护确保设备长期稳定运行。


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