半导体反应腔室控温系统是既可以加热又可以冷却的集成设备，采用机械原理快速升高和降低温度。它不仅使温度迅速升高，而且具有较大的加热和冷却能力，被广泛应用于生物，化学工业，石材，科学研究，医学等领域，为各个行业的快速发展提供了保证。

　　1、半导体反应腔室控温系统的整体设备为全封闭系统，设备不会因加热而增加压力，将根据温度变化调节传热介质，使整个设备运行平稳。但是，某些意外故障将导致温度缓慢变化，这种情况持续一段时间，将导致设备损坏，甚至直接损坏核心组件。

　　2、当遇到降温慢的问题时，可以戴手套触摸主机压缩机的排气口，看看排气管的温度是否不高，然后再触摸吸气管。查看吸水管是否结霜，如果满足了这两点，则设备缺少制冷剂，请参阅设备随附的操作手册以添加制冷剂，确保选择合格的制冷剂。

　　3、除了制冷剂引起的非冷却问题外，设备制冷系统，传感器系统，控制系统，一个或多个系统也可能存在问题。您可以先关闭设备，然后启动设备以查看是否可以解决问题。如果不是，请依次检查每个系统。非人员请勿打开设备，以免造成二次损坏。

　　4、确认设备的相关阀门状态是否满足启动要求，并打开电源。开关以使电源控制指示灯点亮。启动冷却水泵，冷却塔风扇和制冷剂水泵，您应该能够看到三个设备的操作指示灯亮起。

　　5、检测半导体反应腔室控温系统的润滑油温度，油泵开始运行后，将能量调节控制阀置于减荷位置，并确认滑阀处于零位置以调节油压控制阀。

　　6、设备启动并投入运行后，为了以确保设备正在运行，另需查验制冷剂水泵，冷却水泵，冷却塔风扇在运行过程中的声音和振动，水泵的出口压力，水温等指标是否在正常工作参数范围内。

7、压缩机运行过程中，电机的工作电流是否在规定范围内，如果电流太大，则应进行调整以减少负载运行，以防止电动机因过大的运行电流而烧坏，以及在运行期间压缩机的声音和振动是否正常。