光刻机用低温冷水机组操作者可对设备运行过程中的相关故障以及解决办法做一定的了解，以便更好的使用光刻机用低温冷水机组，那么其故障原因是怎么样的呢？

　　1、制冷剂泄漏：

　　系统中制冷剂泄漏后制冷量不足，吸、排气压力低，蒸发器不挂霜或挂角少量的浮霜，若调大膨胀阀孔，吸气压力仍无大变化，停机后系统内平衡压力一般低于相同环境温度所对应的饱和压力。

　　排除方法：制冷剂泄漏后不能急于向系统内充灌制冷剂，而应立即查找渗漏点，经修复后在填充制冷剂。

　　2、维修后充灌制冷剂过多：

　　维修后的制冷系统中充灌的制冷剂量超过系统的容量，制冷剂就会占去冷凝器一定的容积，减少散热面积，使其制冷效果下降，出现吸、排气压力普遍高于正常的压力值，蒸发器结霜不实，光刻机用低温冷水机组降温慢。

　　排除方法：按操作程序，须停机几分钟后在高压截止阀处放出多余的制冷剂，此时也能将系统中的残余空气一并放出。

　　3、制冷系统内有空气：

　　空气在制冷系统中会使制冷效率降低，突出的现象时吸、排气压力升高（但排气压力还未超出额定值），压缩机出口至冷凝器处温度明显增高，由于系统内有空气，排气压力、排气温度都升高。

　　排除方法：可以在停机后几分钟后，连续几次从高压截止阀放出空气，还可以根据实际情况适当充灌一些制冷剂。

　　4、蒸发器表面结霜过厚：

　　长期使用的冷库蒸发器要定时化霜，如不化霜，蒸发器管路上霜层越积越厚，当把整个管路包住成透明冰层时，将严重影响传热，致使光刻机用低温冷水机组温度降不到要求的范围内。

　　排除方法：停机化霜，切勿用铁器、木棒等敲击霜层，以防损坏蒸发器管路。

　　5、蒸发器管路中有冷冻油：

　　在制冷循环过程中，有些冷冻油残留在蒸发器管路内，经过较长时间的使用，蒸发器内残留油较多时，会严重影响其传热效果，出现制冷差的现象。

　　排除方法：清除蒸发器内的冷冻油。将蒸发器拆下来，进行吹洗后再烘干。

　　光刻机用低温冷水机组在发生液击故障之后，操作者或者使用人如不能及时解决，请联系厂家进行解决。