ICP光谱仪冷却循环水装置组由三个相互关联的系统组成：制冷剂循环系统、水循环系统、电器自控系统。

　　1、ICP光谱仪冷却循环水装置循环系统：

　　ICP光谱仪冷却循环水装置蒸发器中的液态制冷剂吸收水中的热量并开始蒸发，液态制冷剂亦*蒸发变为气态后被压缩机吸入并压缩，气态制冷剂通过冷凝器吸收热量，凝结成液体，通过热力膨胀阀（或毛细管）节流后变成低温低压制冷剂进入蒸发器，完成制冷剂循环过程。

　　2、ICP光谱仪冷却循环水装置制冷系统基本组成 ：

　　压缩机：压缩机是制冷系统中的核心部件，作用是将输入的电能转化为机械能，压缩制冷剂。

　　冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。

　　贮液器：贮液器安装在冷凝器之后，与冷凝器的排液管是直接连通的。

　　干燥过滤器：在制冷循环中须预防水分和污物等进入。

　　热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，又是节流阀，在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，它的感温包是包扎在蒸发器的出口处。

　　蒸发器：蒸发器是依靠制冷剂液体的蒸发来吸收被冷却介质热量的换热设备。

　　制冷剂：它的作用是携带热量，并在状态变化时实现吸热和放热。

　　3、ICP光谱仪冷却循环水装置水循环系统：

　　水循环系统是由水泵将水从水箱抽出到用户需冷却的设备，冷冻水将热量带走后温度升高，再回到冷冻水箱中。

　　4、ICP光谱仪冷却循环水装置电器自控系统：

　　电器自控系统包括电源部分和自动控制部分。

　　电源部分是通过接触器，对压缩机、风扇、水泵等供应电源。

ICP光谱仪冷却循环水装置自动控制部分包括温控器、压力保护、延时器、继电器、过载保护等相互组合达到根据水温自动启动和停止，保护等功能。